中圖儀器激光干涉儀

激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標準測量各項參數，如線形位置精度、重復定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數控系統），機床動態特性測量與評估，回轉坐標分度精度標定，觸發脈沖輸入、輸出功能等。

激光干涉儀的功能有以下幾方面：
1.自動螺距誤差補償。激光干涉儀不僅能自動測量機器的位置精度，而且還能通過RS232接口使計算機和數控系統實現通信，對誤差進行自動補償。它比通常的手工補償方法節省了大量的時間，同時可*大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到*佳精度。
2.回轉坐標精度標定?；剞D坐標分度精度標定可對數控轉臺在任意角度位置，以任意測量間隔進行自動測量及補償。
3.機床動態特性測試與評估。利用中圖動態特征測量與評估軟件，可用干涉儀進行杌床振動測試與分析、滾珠絲杠的動態特性分析、伺服驅動系統的響應特性分析、導軌的動態特性（低速爬行）分析等，從而幫助用戶對機器源進行分析。
4.觸發脈沖輸入、輸出功能。利用觸發脈沖輸入，可實現外部控制激光干涉儀記錄數據，從而可實現類似于激光絲杠動態精度檢查儀的功能或機床傳動鏈精度檢查功能。利用觸發脈沖輸出，可用激光干涉儀定時或定距發出脈沖，從而實現類似于激光光刻機的功能。
5.其他用戶接口裝置?？捎弥袌D公司提供的特殊接口軟件，對于現有某些*牌的電子水平儀或數字指示儀器的用戶，配合中圖激光干涉儀校準軟件，實現直線度、平面度及垂直度等幾何精度的檢測，從而節省用戶投資費用。

中圖儀器激光干涉儀技術參數：

系統性能
測量方式：單頻
穩頻精度：0.05ppm
動態采集頻率：50 kHz
預熱時間：約6分鐘
工作溫度范圍：0~40℃
環境溫度范圍：0~40℃，環境濕度：0~95%
存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環境補償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測量
測量距離：0-40m
測量精度：0.5ppm (0-40℃)
測量分辨率：1nm
測量*大速度：4m/s